Reticle Handler Robot (ASML) software

De Reticle Handler is een sub-module van de Twinscan XT van ASML. In de Reticle Handler neemt de robot een centrale positie in. De robot transporteert de reticles tussen de verschillende modules met hoge nauwkeurigheid.

Een interessant deel van de software ontwikkeling van de robot is de volledig automatische calibratie. Aangezien de robot is uitgerust met een sensor die in zes vrijheidsgraden krachten en koppels kan meten is het mogelijk om de omgeving van de robot te betasten. Tijdens de calibratie voelt en leert de robot wat de posities en oriëntaties zijn van de modules waarmee hij interacteert tijdens productie. Nadat de calibratie procedure is doorlopen is de robot in staat om met hoge snelheid en hoge nauwkeurigheid reticles uit te wisselen met de modules. 

In de eerste foto hieronder is de testopstelling van de reticle handler afgebeeld. De tweede afbeelding laat de complete Twinscan XT zien waarin de Reticle handler (robot) is geïntegreerd.