Robot grippers (ASML - Carl Zeiss)

Bij Carl Zeiss (Oberkochen in Duitsland) worden lenzen geproduceerd voor ASML lithografiemachines. Tijdens het productieproces doorlopen deze lenzen meerdere cycli. De lenzen waarvan de prijs kan oplopen tot ca 1 miljoen euro, worden met behulp van een Fanuc robot verplaatst. Het spreekt voor zich dat product-safety bij alle processtappen een hoge prioriteit heeft. Bij de ontwikkeling van de RP-robot-gripper en de OH-robot-gripper was EBtech als systeemontwerper verantwoordelijk voor het elektrotechnisch ontwerp, de softwareontwikkeling en  motion control.

Het totale RP-gripper systeem bestaat o.a. uit de volgende elektrotechnische componenten:
- PLC,
- 3 servomotoren,
- QR-camera,
- 3 x 3-assige krachtsensoren,
- Inclinometer,
- 48 digitale sensoren,
- 16 analoge sensoren.

 
RP-robot gripper assembly

Fanuc robot used for handling lenses